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進(jìn)口parylene派瑞林鍍膜設(shè)備

進(jìn)口parylene派瑞林鍍膜設(shè)備Series 3000 CR系統(tǒng)專(zhuān)為需在潔凈室環(huán)境中運(yùn)行的工藝應(yīng)用而設(shè)計(jì)。廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè),包括航天航空、半導(dǎo)體、新能源、軍工、汽車(chē)、手機(jī)、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。通過(guò)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤(rùn)滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。

  • 產(chǎn)品型號(hào):Series 3000 CR
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-07-01
  • 訪  問(wèn)  量:77
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聯(lián)系電話:021-62318025

產(chǎn)品詳情

進(jìn)口parylene派瑞林鍍膜設(shè)備Series 3000 CR系統(tǒng)專(zhuān)為需在潔凈室環(huán)境中運(yùn)行的工藝應(yīng)用而設(shè)計(jì)。廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè),包括航天航空、半導(dǎo)體、新能源、軍工、汽車(chē)、手機(jī)、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。通過(guò)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤(rùn)滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。


Series 3000 CR系統(tǒng)一體化泵架能夠顯著減少顆粒物排放,從而為潔凈室在最嚴(yán)苛的環(huán)境下提供更為清潔和緊湊的整體解決方案。  因在小占地面積下提供高性能技術(shù),節(jié)約大量的超凈間占地空間,該系統(tǒng)已被全球眾多潔凈室設(shè)施,例如醫(yī)藥、航空航天、汽車(chē)、高科技電子及高等院校廣泛采用,且其應(yīng)用范圍與使用數(shù)量仍在持續(xù)增長(zhǎng)。


進(jìn)口parylene派瑞林鍍膜設(shè)備

Series 3000 CR系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢(shì):

具備模塊化組裝結(jié)構(gòu),并提供可調(diào)節(jié)尺寸的工藝腔室;

系統(tǒng)支持多種可選配置,包括轉(zhuǎn)盤(pán)裝置及適配不同基板類(lèi)型的夾具;

工藝腔室的裝載操作于潔凈室內(nèi)完成;

卸載則通過(guò)位于過(guò)渡區(qū)域(灰區(qū))的氣閘門(mén)實(shí)現(xiàn)。


進(jìn)口parylene派瑞林鍍膜設(shè)備Series 3000 CR

尺寸
L:2095mm  W:800mm  H:1450mm
重量300kg
腔體容量
140/200/300/800 L
工藝腔體
500mm ?,H: 700mm (140 L)

600mm ?,H: 700mm (200 L)

700mm ?,H: 800mm (300 L)

等離子源
2.45GHz, 1200 W
氣路
1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),最多可擴(kuò)展至 3 路氣體通道。
冷卻系統(tǒng)
8L(機(jī)電式冷阱)
真空連接DIN 40 ISO-KF
排氣
電磁式排氣閥
真空泵
抽速75m3/h
電氣連接
三相五線制,交流 50 Hz,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW


我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)型機(jī)型,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機(jī)型。同時(shí),我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,實(shí)現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M(jìn)行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性。另外,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計(jì),在小占地面積下提供高性能技術(shù),節(jié)約大量的超凈間占地空間。


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